FOUP-Handling
Optimieren Sie Ihre Halbleiterfertigung mit automatisiertem FOUP‑Handling (Front-Opening Unified Pod). Intelligente Robotik übernimmt den sicheren Transport und die präzise Handhabung von Wafer-Carriern.
So steigern Sie Durchsatz, Qualität und Prozessstabilität nachhaltig.
Das Problem
Empfindliche Prozesse erfordern höchste Prozesssicherheit
FOUP‑Handling in der Halbleiterfertigung stellt höchste Anforderungen an Traceability, Präzision und Prozesskontrolle.
Manuelle Eingriffe erhöhen das Risiko von Kontaminationen, Fehlern und Prozessunterbrechungen. Gleichzeitig steigen Anforderungen an Durchsatz und Traceability kontinuierlich.
Die Lösung
Autonomes FOUP-Handling
Mit den Smart Factory-Lösungen von ERT integrieren Sie FOUP‑Handling vollständig in eine intelligente Produktionsumgebung. Mobile Manipulatoren transportieren Wafer-Carriers autonom zwischen Prozessanlagen, Lagerpunkten und Übergabestationen.
Der ERTmiral® Flottenmanager koordiniert alle Materialflüsse, priorisiert Aufträge und stellt die lückenlose Rückverfolgbarkeit sicher.
Die modulare Systemarchitektur ermöglicht eine flexible Integration in bestehende Reinraumumgebungen und bildet die Basis für hochautomatisierte Smart Manufacturing-Konzepte.
- Stablile, standardisierte Prozesse für moderne Halbleiterfertigung
- Reduzierung von Fehlern und Aufwänden durch manuelles Handling
- Volle Prozesstransparenz und Traceability
FOUP-Handling
Typische Smart Factory-Produkte
Virtual Engineering
Simulation Ihrer küntigen Smart Factory für sichere Entscheidungen
mobERT®
für autonome Materialtransporte,
-handling und
Machine Tending
ERTmiral®
für effizientes zentrales Flotten- und Auftragsmanagement
Ihre Vorteile durch automatisiertes FOUP-Handling
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Höhere Effizienz durch automatisierte Qualitätsregelkreise und parallele Prozesse
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