Manipulation des FOUP
Optimisez votre production de semi-conducteurs grâce à la manutention automatisée des FOUP (Front-Opening Unified Pod). Une robotique intelligente assure le transport en toute sécurité et la manutention précise des porte-plaquettes.
Vous améliorez ainsi durablement le rendement, la qualité et la stabilité des processus.
Le problème
Les processus sensibles exigent une sécurité maximale
La manipulation des FOUP dans la fabrication de semi-conducteurs impose des exigences très strictes en matière de traçabilité, de précision et de contrôle des processus.
Les interventions manuelles augmentent le risque de contamination, d'erreurs et d'interruptions du processus. Parallèlement, les exigences en matière de débit et de traçabilité ne cessent de croître.
La solution
Manutention autonome des FOUP
Grâce aux solutions « Smart Factory » d'ERT, vous intégrez entièrement la manutention des FOUP dans un environnement de production intelligent. Des manipulateurs mobiles transportent de manière autonome les porte-wafer entre les équipements de traitement, les points de stockage et les stations de transfert.
Le gestionnaire de flotte ERTmiral® coordonne tous les flux de matériel, hiérarchise les commandes et garantit une traçabilité sans faille.
L'architecture modulaire du système permet une intégration flexible dans les environnements de salles blanches existants et constitue la base de concepts de « smart manufacturing » hautement automatisés.
- Des processus stables et standardisés pour la fabrication moderne de semi-conducteurs
- Réduction des erreurs et des efforts liés à la manutention manuelle
- Transparence totale des processus et traçabilité
Manipulation des FOUP
Produits typiques de l'usine intelligente
Ingénierie virtuelle
Simulation de votre future « Smart Factory » pour prendre des décisions en toute confiance
mobERT®
pour le transport autonome de marchandises,
- la gestion et
Assistance aux machines
ERTmiral®
pour une gestion centralisée et efficace de la flotte et des commandes
Les avantages que vous offre la manutention automatisée des FOUP
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Une efficacité accrue grâce à des boucles de régulation de la qualité automatisées et à des processus parallèles
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